TFT-LCD生产设备洁净度提升研究

• 作者: 元荣载 刘小宝
• 来源期刊: 洁净与空调技术
• 关键词: 洁净室设备环境 设备内洁净度 单点滴注 阵列 面板
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 专题研讨
• 页码范围: 21-24
• 页数: 4页
• 字数: 2537字
• 语种: 中文

摘要

洁净室设备内环境是产品最近的环境,设备内洁净度直接影响产品品质,随着现在科学技术的高速发展,对生产设备内部环境洁净度要求越来越高.通过薄膜晶体管液晶显示模块(TFT-LCD)生产线设备内环境洁净度的提升,得到了非常重要的一线数据,积累了很多经验.粒子(Particle)是洁净间产品品质最大的敌人,设备内环境就是产品的环境,设备内环境洁净度的改善和控制是非常重要和必要的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘小宝		2	2	1.0	1.0
2	元荣载		1	2	1.0	1.0