应用于气体传感器的多波导层Love波器件的温度特性研究

• 作者: 何世堂 侯娇丽 刘明华 王文
• 来源期刊: 声学学报
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 页码范围: 181-187
• 页数: 7页
• 语种: 中文

摘要

为获得趋于零温度系数的多波导层Love波器件结构参数,对Love波器件的温度稳定性进行了研究.首先构建了这种多波导层条件下Love波传播特性的理论模型,即根据层状结构声波传播方程和边界条件推导出Love波的色散方程,再结合色散方程和Tomar的方法,成功提取出趋于零温度系数的Love器件结构参数,并通过实验验证了理论计算结果,实验测试得到的基于ST-90°X石英且采用SU-8与SiO2双波导层的Love波延迟线器件的频率温度系数(tcf)仅为2.16 ppm/℃.优化后的器件具有很好的实际意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王文	中国科学院声学研究所	81	464	12.0	18.0
2	何世堂	中国科学院声学研究所	74	236	8.0	12.0
3	刘明华	中国科学院声学研究所	16	84	6.0	9.0
4	侯娇丽	中国科学院声学研究所	1	0	0.0	0.0