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双螺杆真空泵
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间隙调整
检修要点
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 EDWARDS公司IPUP2真空泵创立加载互锁和输送腔体应用新标准
来源期刊 电子工业专用设备 学科
关键词
年,卷(期) 2013,(7) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 65-66
页数 2页 分类号
字数 2050字 语种 中文
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相关学者/机构
期刊影响力
电子工业专用设备
双月刊
1004-4507
62-1077/TN
大16开
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
1971
chi
出版文献量(篇)
3731
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31
总被引数(次)
10002
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