不同介电质层对弹性体表面形貌的调控作用

• 作者: 周振婷 徐欢欢 王斌
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 表面形貌 物理气相沉积 应力
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 45-50
• 分类号: TG174.4|TQ334
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2013.01.008

摘要

利用涂饰技术调控弹性体材料的表面形貌,有助于提高表面材料的稳定性及相关器件的运行性能,同时为微纳米尺寸的图形制备提供参考.通过物理气相沉积法在弹性体PDMS(聚二甲基硅氧烷)衬底表面分别沉积了SiO2、MgF2及ZnS三种介电质材料并对各形貌的形成进行了分析.结果表明,通过在PDMS衬底表面蒸镀不同的介电质材料,可以形成褶皱、龟裂及平坦的表面形貌；通过光刻及软光刻技术在衬底表面预制具有周期性的凹状图形,可以对褶皱、龟裂的方向进行调控,使褶皱、龟裂等形貌呈有序性分布；通过对比介电质材料在加热冷却过程中所受的应力与临界应力的大小,可以方便地选择合适的介电质材料来制备所需的弹性体表面形貌.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周振婷	南京师范大学物理科学与技术学院	2	7	2.0	2.0
2	徐欢欢	南京师范大学物理科学与技术学院	2	7	2.0	2.0
3	王斌	南京师范大学物理科学与技术学院	3	4	2.0	2.0