超光滑加工中抛光液恒温供给系统设计与实现

• 作者: 崔洋 彭吉 闫丰
• 来源期刊: 电子测量与仪器学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光学制造 超光滑加工 循环温控系统
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 173-178
• 页数: 6页
• 分类号: TN305
• 字数: 1789字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1187.2013.00173

摘要

围绕用于超光滑光学元件加工的抛光液恒温供给系统的设计和实现而展开,首先,从功能及性能上对系统进行需求分析.然后,给出了系统整体设计方案:采用去离子水作为热媒,使抛光液间接、被动、缓慢、均匀升温,并采用压缩机制冷方式,引入恒定的制冷量,使用PID控制算法使得抛光液的温度控制在恒定值,仿真结果表明该设计方案满足加工工艺提出的精度要求.最后,对搭建后的系统进行测试,在有/无外循环扰动的情况下温度稳定性均优于±0.02℃.系统运行稳定,确保抛光模型和加工去除函数的稳定性,从而进一步提升光学元件的加工精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔洋	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	9	40	4.0	6.0
2	彭吉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	6	32	4.0	5.0
3	闫丰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	20	133	7.0	10.0