脉冲偏压对(Ti,Al)N涂层应力分布及其力学性能的影响

• 作者: 赵升升
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: (Ti,Al)N 硬质涂层 应力分布 脉冲偏压
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 212-217
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文

摘要

利用电弧离子镀技术在不锈钢基体上制备了(Ti,A1)N涂层,研究了脉冲偏压对涂层残余应力沿层深分布及相关力学性能的影响.结果表明,(Ti,Al)N涂层残余应力沿层深呈“钟罩型”分布,且随脉冲偏压的增大应力值明显增加；通过对涂层生长结构及微观成分分析,初步探讨了应力分布机理.随脉冲偏压的增加,涂层硬度会显著增加,而膜/基结合力则先增加后减小；采用改变脉冲偏压的工艺制备(Ti,Al)N涂层,可有效调整涂层残余应力沿层深分布趋势,改善其力学性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵升升		15	22	3.0	4.0