石英基声表面波谐振器的设计与制作

• 作者: 张祖伟 温志渝 王春梅
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波谐振器(SAWR) 耦合模(COM) 石英 COM仿真 结构参数
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 380-385
• 分类号: TH703|TN62
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2013.06.009

摘要

针对石英基声表面波双端谐振器,进行理论分析、结构设计和加工制作,最后完成谐振器样机性能测试分析.利用耦合模(COM)理论模拟谐振器的性能,建立叉指换能器(IDT)的COM方程,利用FEMSDA软件得到石英基片中声表面波的色散曲线,提取出COM参数.利用COM软件仿真谐振器的结构参数对其性能的影响,确定谐振器的结构参数.利用传统光刻和腐蚀工艺制作出声表面波谐振器样机,最后用矢量网络分析仪对制作的声表面波谐振器性能进行测试,得到谐振器中心频率为78.34 MHz,插入损耗为-11.273 dB,Q值为6 465.7,该谐振器能够满足实际的应用需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	温志渝	重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室	143	1259	18.0	26.0
10	王春梅	重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室	4	2	1.0	1.0