圆形质量块/柔性电极MEMS万向触发开关

• 作者: 席占稳 张平 聂伟荣
• 来源期刊: 探测与控制学报
• 关键词: 引信 MEMS 万向开关 柔性电极万
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 页码范围: 10-14
• 页数: 5页
• 分类号: TJ430
• 语种: 中文

摘要

针对现有MEMS惯性开关各向响应不一致和闭合时间短等问题,设计了一个采用周边弹簧支撑中心圆形质量块、柔性支撑固定电极结构形式的引信用MEMS万向触发开关.仿真结果表明,开关响应时间不大于300μs.由于采用圆形质量块,开关对0°～90°不同着角的冲击都能可靠响应；由于采用柔性电极,开关的闭合时间从小于10μs延长到30μs以上.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	席占稳	南京理工大学机械工程学院	39	202	8.0	13.0
2	聂伟荣	南京理工大学机械工程学院	52	260	9.0	12.0
3	张平	南京理工大学机械工程学院	17	174	6.0	13.0