微纳米测量机测头结构的参数设计及分析

• 作者: 李瑞君 杨桥 王珊 陈晓怀 陈贺
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 接触扫描式测头 微纳米测量机 力学分析 弹性结构设计
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 页码范围: 401-405
• 页数: 5页
• 分类号: TB921
• 字数: 2910字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2013.05.01

摘要

设计了一种高精度的接触扫描式测头,提出了4种测头弹性结构的设计方案.根据测头的测量范围、测量灵敏性、测量稳定性、各向同性的要求,选择了最优的设计结构.对选择的结构进行了参数设计、力学分析和有限元分析,分析结果表明设计的测头测量范围达到40 μm×40μm×20 μm,测量刚度小于0.5 mN/μm,各向同性也符合设计要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈晓怀	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	100	1009	16.0	25.0
2	李瑞君	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	26	89	6.0	8.0
3	陈贺	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	5	23	3.0	4.0
4	王珊	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	2	17	2.0	2.0
5	杨桥	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	3	8	2.0	2.0