基于光纤声光调制的轮廓检测技术研究

• 作者: 王辉林 高传梅
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 光纤 轮廓检测 声光调制 纳米级测量 外差法
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 光纤传感与光通信
• 页码范围: 1062-1066
• 页数: 5页
• 分类号: TN25
• 字数: 2840字
• 语种: 中文
• DOI: 10.5768/JAO201334.0608003

摘要

为实现对工件表面微观形貌测量系统要求远距离传输、实时在线及非接触测量,同时达到高精度、高分辨力、高信噪比测量,提出基于声光调制的光纤外差法轮廓检测技术,采用外差法可有效抑制随机噪声,提高信噪比,通过原理分析建立数学模型;系统设计画出工件表面粗糙度测量框图;实验测量得出被测工件表面粗糙度,分辨力达到1 nm;讨论了不确定度来源及控制方法,测量精度为1‰.实验结果表明:外差法、声光调制及光纤测试技术可有效降低噪声、提高分辨力和测量精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高传梅	山东理工大学机械工程学院	1	6	1.0	1.0
2	王辉林	山东理工大学机械工程学院	41	139	7.0	9.0