四氯化硅制备三氯氢硅新工艺研究

• 作者: 程永高
• 来源期刊: 山西化工
• 学科: 工学
• 关键词: 四氯化硅 制备 三氯氢硅 工艺
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 科研与开发
• 页码范围: 19-22
• 页数: 4页
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 3552字
• 语种: 中文

摘要

四氯化硅是光伏产业的副产物,对环境产生严重污染.以四氯化硅合理化利用作为研究对象,分析了四氯化硅制备三氯氢硅主要工艺方法的优缺点,找出最佳的工艺方法.对直流放电等离子法还原四氯化硅工艺进行实验研究,找出最佳的工艺条件获得最大的收率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程永高	邢台职业技术学院资源与环境系	30	83	5.0	6.0