线锯钢线断线续切技术研究

• 作者: 杨士超 马玉通
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 钢线断线 线切割 钢线破断力 续切
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 所属期刊栏目: 半导体器件制造工艺与设备
• 页码范围: 8-11,65
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.1
• 字数: 3315字
• 语种: 中文

摘要

根据切割线的特性,分析了在多线切割过程中钢丝断线的各种原因;在生产中,有效控制断线率可以对降本增收起到很大的作用.在大量实验的基础上,归纳总结出断线后续切技术,有效的保障了生产工作的顺利进行.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马玉通	中国电子科技集团公司第四十六研究所	13	31	4.0	5.0
2	杨士超	中国电子科技集团公司第四十六研究所	4	12	1.0	3.0