用于声光移频的声表面波谐振器

• 作者: 张祖伟 温志渝 王春梅
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 喇曼-奈斯衍射 SAW谐振器 中心频率 插入损耗 Q值
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 755-758,761
• 分类号: TN65
• 语种: 中文

摘要

针对一种喇曼型声表面波声光器件的设计需求,设计制作出一种能够满足喇曼-奈斯衍射要求的、低损耗、高Q值声表面波谐振器.利用耦合模(COM)理论仿真谐振器的性能,建立谐振器的COM模型,求解COM方程,提取出COM参数.利用COM软件仿真设计谐振器的结构参数,设计的谐振器中心频率为78.028 MHz,Q值为10 428,插入损耗为-6.153 dB.利用微加工技术加工制作出声表面波谐振器,用矢量网络分析仪对其性能进行测试,得到谐振器实际中心频率为78.34 MHz,插入损耗为-11.273 dB,Q值为6 465.7,该谐振器能够满足喇曼型声表面波声光器件的应用需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	温志渝	重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室	143	1259	18.0	26.0
10	王春梅	重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室	4	2	1.0	1.0