新型石英振梁加速度计机械耦合研究

• 作者: 冯丽爽 史杰 周震 姚保寅
• 来源期刊: 红外与激光工程
• 学科: 工学
• 关键词: 一体差动式加速度计 灵敏度 机械耦合 有限元仿真
• 年，卷（期）: 2013,（z2）
• 页码范围: 426-430
• 页数: 5页
• 分类号: TH824+.4
• 字数: 2168字
• 语种: 中文

摘要

机械耦合效应严重制约了一体差动式振梁加速度的精度提高。为了降低机械耦合效应，提高加速度测量精度，设计了一种新型一体差动式石英振梁加速度计敏感头。首先，介绍了机械耦合效应所引起的“锁频”问题，建立了机械耦合效应数学建模。其次，依据机械耦合数学模型，对加速度计敏感结构进行优化。最后，通过有限元方法进行仿真，验证了理论设计的合理性。实验证明：新型一体差动式石英振梁加速度计具有低机械耦合效应、高灵敏度、小型化等优点。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯丽爽	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	85	462	12.0	19.0
2	周震	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	26	58	4.0	7.0
3	姚保寅	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	7	23	3.0	4.0
4	史杰	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	1	3	1.0	1.0