基于微机电技术的硅基射频电感的设计与仿真

• 作者: 章白瑜 闫娜 高建军
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 立体电感 品质因数 等效电路
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 152-157
• 页数: 6页
• 分类号: TM55
• 字数: 3714字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2013.02.004

摘要

基于微机电(MEMS)工艺技术的射频电感是一种体积小、功耗低和集成度高的新型电感,对于设计高品质因数的微波集成电路具有非常重要的作用.对先进的硅基微机电射频电感设计技术进行了介绍,给出了3种常用的等效电路模型；同时利用三维电磁仿真软件HFSS设计了平面结构和垂直结构的MEMS立体电感,详细地给出了这2种电感的物理结构参数以及在N型硅衬底上的实现方法及工艺流程.仿真结果表明,平面结构的电感品质因数在4.4 GHz处可以达到11.8,垂直结构的电感的品质因数在4.3GHz处可以达到19.5,远远高于传统电感的品质因数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	章白瑜	华东师范大学信息科学技术学院	3	20	2.0	3.0
5	高建军	华东师范大学信息科学技术学院	24	42	3.0	5.0