减小交叉耦合的三维微加速度计的设计

• 作者: 唐彬 施志贵 谢国芬 陈颖慧
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 三维微加速度计 差分电容 交叉耦合度 固有频率
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 95-99
• 分类号: TH703|TH824.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2013.02.007

摘要

介绍了一种减小交叉耦合的三维微加速度计的设计,该设计采用全差分电容式结构,X轴和Y轴采用梳齿电容式加速度计,Z轴采用扭摆电容式加速度计,三个轴向各自具有不同的敏感质量块,能够有效减小交叉耦合度.通过公式计算得到三个轴向的机械噪声,X轴为-60μg√Hz,Y轴为-66 μg√Hz,Z轴为-53 μg√Hz.从计算结果来看,三个维度的噪声系数较低,在电路噪声保证足够小的情况下,该三维微加速度计能够达到较高的精度.最后,采用COMSOL MULTIPHYSICS软件对该结构三个维度进行了模态仿真,仿真结果表明该设计能够有效减小三个维度的交叉耦合度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐彬	中国工程物理研究院电子工程研究所	59	173	8.0	10.0
2	施志贵	中国工程物理研究院电子工程研究所	20	121	7.0	10.0
3	陈颖慧	中国工程物理研究院电子工程研究所	15	82	6.0	8.0
4	谢国芬	中国工程物理研究院电子工程研究所	2	6	1.0	2.0