晶圆预对准系统定位算法研究

• 作者: 刘品宽 朱晓博 梁家欣
• 来源期刊: 机电一体化
• 关键词: 晶圆预对准 最小二乘圆法 质心法
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 研究·开发
• 页码范围: 30-34,54
• 页数: 6页
• 字数: 3592字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-080x.2013.03.005

摘要

为提高光刻机生产效率与国产化普及程度,论文设计了一种高效、低成本晶圆预对准装置.根据装置采样点数较低、预对准时间短的特性,对最小二乘圆法及质心法两种算法在晶圆形心定位中的使用特点进行探究,并通过仿真进行验证.提出最小二乘圆法较适用6 000点及以下低采样点的形心定位,而质心法在高采样点形心定位中更为适合,且有较强抗干扰能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘品宽	上海交通大学机器人研究所	35	216	7.0	13.0
2	朱晓博	上海交通大学机器人研究所	3	6	1.0	2.0
3	梁家欣	上海交通大学机器人研究所	1	5	1.0	1.0