全自动单晶圆铝腐蚀清洗机工艺原理与工作过程介绍

• 作者: 姚立新 宋文超 张利军 王刚 陈仲武
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体 铝腐蚀 单晶圆清洗 自动设备
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 页码范围: 1-4,31
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.97
• 字数: 2583字
• 语种: 中文

摘要

介绍了几种常用的晶圆金属铝膜腐蚀工艺，并详细讲解了全自动单晶圆铝腐蚀清洗机采用第四种工艺配方进行金属铝膜腐蚀清洗的工艺过程。同时，简单介绍了为提高腐蚀清洗效果而设计的两套子系统的工作原理。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋文超	中国电子科技集团公司第四十五研究所	17	18	2.0	4.0
2	张利军	中国电子科技集团公司第四十五研究所	11	6	2.0	2.0
3	王刚	中国电子科技集团公司第四十五研究所	32	73	5.0	8.0
4	陈仲武	中国电子科技集团公司第四十五研究所	8	10	2.0	3.0
5	姚立新	中国电子科技集团公司第四十五研究所	2	14	2.0	2.0