基于对数二阶微分极小峰值时间的测厚方法研究*

• 作者: 冯立春 张存林 曾智 陶宁
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 红外热波 定量测量 缺陷深度 极小峰值
• 年，卷（期）: 2013,（13）
• 页码范围: 138701-1-138701-7
• 页数: 1页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.62.138701

摘要

本文提出了一种反射式脉冲红外热波技术中采用对数温度-对数时间二阶微分极小峰值时间作为特征时间进行缺陷深度定量测量的方法。首先，介绍了反射式脉冲红外热波技术的基本原理，在半无限厚平板解的基础上得到了对数温度-对数时间二阶微分极小峰值时间与缺陷深度平方的关系式。其次，利用不锈钢和铝材料制作平底洞试件并得到红外热图序列，提取对数二阶微分极小峰值时间。该特征时间与缺陷深度平方实验结果显示其具有很好线性关系，该线性关系可用于实际缺陷深度定量测量，并讨论了与应用广泛的对数二阶微分极大峰值法相比的优缺点。