复合湿法腐蚀工艺制备硅基三维曲面

• 作者: 李薇 苏磊 郭勇君 黎永前
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 体硅加工 湿法腐蚀 各向异性 各向同性 硅模具 三维曲面
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1531-1536
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.99
• 字数: 3251字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20132106.1531

摘要

提出了将各向异性湿法腐蚀与各向同性湿法腐蚀相结合的复合工艺,通过控制刻蚀工艺参数进行体硅加工,成功刻蚀了硅基材料三维曲面回转体结构.在各向同性腐蚀过程中,由各向异性刻蚀得到的多面体结构的表面垂直腐蚀速率与刻蚀液浓度呈指数关系,而搅拌使得多面体结构表面峰值与谷底的刻蚀液存在流速差,基于此原理可得到光滑的三维曲面.刻蚀过程中,通过各向异性湿法腐蚀控制结构深度,通过各向同性湿法腐蚀"抛光"结构曲面.最后,采用实验优化湿法腐蚀过程的工艺参数,基于直径为600～1 000 μm的圆形掩模板,在硅材料表面制备得到了高度为100～200μm的三维曲面回转结构.提出的工艺简单、有效且便于操作,有望用于制作不同曲面形状的三维硅结构及聚合物光学器件模具.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李薇	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	7	13	2.0	2.0
2	黎永前	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	18	227	7.0	15.0
3	郭勇君	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	4	8	2.0	2.0
4	苏磊	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	6	11	2.0	3.0