中波红外3 μm～5 μm宽带通滤光片的研制

• 作者: 刘永强 刘青龙 张建付 杨华梅 杨崇民 王养云 米高园 谢辉 黎明
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 宽带通滤光片 膜厚控制精度 膜层总厚度
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 光学器件与制造
• 页码范围: 695-699
• 页数: 5页
• 分类号: TN205
• 字数: 3123字
• 语种: 中文
• DOI: 10.5768/JAO201334.0407002

摘要

中波红外宽带通滤光膜通常膜系层数多,膜层总厚度非常大(厚度达到10 μm左右),膜层的镀制工艺难度较大.通过分析红外带通滤光片几种设计方法的特点,并结合实际镀制工艺技术,采用了长波通与短波通及非规整薄膜设计技术相结合的方法,设计了以锗材料为基底的中波3 μm～5 μm宽带通滤光膜.该设计大幅度降低了膜层的总厚度(约为8.65 μm),缩短了膜层的镀制周期,提高了膜层的牢固度;在膜层的镀制工艺过程中,通过改变薄膜材料的蒸发速率、修正蒸发硫化锌材料时电子枪的扫描方式、调整蒸发材料在坩埚中的装载方法,使膜层获得了优异的光谱性能,其通带平均透过率大于96％,截止区域的平均透过率小于1％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨华梅		8	29	4.0	5.0
2	杨崇民		15	53	3.0	6.0
3	米高园		7	21	3.0	4.0
4	张建付		10	24	3.0	4.0
5	刘青龙		7	21	3.0	4.0
6	王养云		2	10	2.0	2.0
7	黎明		2	12	2.0	2.0
8	刘永强		8	37	3.0	6.0
9	谢辉		3	11	2.0	3.0