梯度Ti1-xAlxN膜层的的制备与工艺性能

• 作者: 卢龙 张会霞 杨建明 陈劲松
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 梯度膜层 工艺性能 Ti1-xAlxN
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 118-121
• 分类号: TG174
• 语种: 中文

摘要

采用多弧离子镀技术交互沉积工艺,使用合金靶与纯Ti靶在齿轮材料40Cr基体表面实现梯度Ti1-xAlxN膜层的制备,通过研究不同x值时梯度Ti1-xAlxN膜层的表面形貌、组织结构及膜层显微硬度、结合力等性能,探求较优的工艺参数配比.结果表明,在工艺参数相同的条件下,不同x值,梯度Ti1-xAlxN膜层厚度相差不大；显微硬度先随x值的增大而先增大后降低；结合力随x值的增大而降低,x值为0.67时梯度Ti1-xAlxN膜层综合性能最优.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张会霞		27	65	5.0	6.0
2	杨建明		59	277	9.0	13.0
3	陈劲松		38	142	6.0	9.0
4	卢龙		18	118	6.0	10.0