一种MEMS体声波硅谐振器的设计

• 作者: 吕萍 唐梦 王明湘
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 体声波硅谐振器 有限元分析 传输线 品质因数 支撑损耗
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 电子电路设计分析及应用
• 页码范围: 662-666
• 页数: 5页
• 分类号: TN303
• 字数: 2901字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2013.05.018

摘要

设计了一种基于SOI衬底工艺的MEMS体声波硅谐振器及其制造方法.利用有限元分析软件对该谐振器进行了模态分析,并针对提高品质因数Q,研究了其损耗机制.结果表明:谐振频率可达108 MHz,且取决于硅材料特性和器件尺寸,而品质因数则决定于支撑损耗.最后,从振动模态和传输线模型角度出发,提出了减少支撑损耗提高Q值的可行性方法,包括将支撑梁放置在振动节点处、梁长度设置为弹性波长的1/4及在衬底端设置声波反射器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王明湘	苏州大学微电子系	13	29	4.0	5.0
2	吕萍	苏州大学微电子系	1	0	0.0	0.0
3	唐梦	苏州大学微电子系	1	0	0.0	0.0