一种新的显影液干膜负载量监控方法

• 作者: 林秀鑫 苏培涛
• 来源期刊: 印制电路信息
• 学科: 工学
• 关键词: 干膜负载 相关性 显影 pH值
• 年，卷（期）: 2013,（z1）
• 所属期刊栏目: 图形形成与蚀刻 Pattern Formation and Etching
• 页码范围: 57-60
• 页数: 4页
• 分类号: TN41
• 字数: 1638字
• 语种: 中文

摘要

文章通过在实验室试验显影液中干膜负载量与显影液浓度、pH值的相关性，运用Minitab工具确定显影液干膜负载量与pH值的线性关系，同时根据供应商提供的干膜显影负载量上限值，计算出相应的显影液pH值参数范围。当显影液pH降低至要求范围下限值时，表示显影液中干膜负载量已经达到要求上限，显影液需及时更换处理，故可通过pH值变化来监控显影液中干膜的负载量。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林秀鑫		7	2	1.0	1.0
2	苏培涛		8	14	2.0	3.0