TiO2/SiO2双层减反射膜的制备及其性能研究

• 作者: 付蕊 李烨 涂洁磊 白红艳 肖祥江 赵沛坤
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: TiO2/SiO2 减反射膜 电子束蒸发 折射率
• 年，卷（期）: 2013,（10）
• 页码范围: 2059-2064
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 字数: 4011字
• 语种: 中文

摘要

采用真空电子束蒸发法制备TiO2/SiO2双层减反射膜,实现宽波段范围内的低反射率,以满足砷化镓三结太阳电池对入射光的需求.主要研究了基片温度、电子束流和充氧量对TiO2、SiO2单层膜性能(膜层厚度、折射率)的影响.研究过程中,按照三因素两水平的正交实验进行,用分光光度计对TiO2、SiO2薄膜样品的折射率进行测试.实验结果显示,两种氧化物介质膜的折射率均随基片温度和束流的升高而增加,随氧压的升高而降低,工艺参数对TiO2膜性能影响较大.