微/纳传动平台的位移耦合分析

• 作者: 俞松松 刘垒 林超 程凯 陶友淘
• 来源期刊: 浙江大学学报（工学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 微/纳传动平台 柔性板簧 压电陶瓷 位移耦合比 有限元分析(FEA)
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 电气与机械工程
• 页码范围: 720-727
• 页数: 8页
• 分类号: TH139
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1008-973X.2013.04.024

摘要

根据机械设计、机械原理、有限元法及线性分析理论,建立微/纳传动平台的有限元模型,推导该平台的位移耦合计算公式,得到该平台沿各方向运动的解耦方程.结合耦合分析图,分析微/纳传动平台多尺度的位移耦合影响,获得该平台沿X、y、Z轴移动以及绕X、y轴转动的位移耦合规律,其中沿Z向运动引起的位移耦合最小,定位精度最高；沿X、y向运动引起的位移耦合最大,对位移耦合影响较大的运动分支进行位移补偿.通过搭建的实验平台进行测试,将实验结果与有限元仿真和理论计算结果进行对比分析,结果基本一致,验证了该平台位移耦合分析方法的正确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林超		70	501	12.0	19.0
2	程凯		8	16	1.0	4.0
3	刘垒		3	8	1.0	2.0
4	俞松松		6	1	1.0	1.0
5	陶友淘		4	0	0.0	0.0