纳米压印技术的研究进展

• 作者: 唐雄贵 廖进昆 杨晓军 段毅 邢飞
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米压印光刻 高分辨率 高重复性
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 1-3
• 页数: 3页
• 分类号: TS859
• 字数: 2855字
• 语种: 中文

摘要

纳米压印技术由于具有操作简单、高分辨率、成本低、重复性高等优点,近年来受到国内外研究机构的高度重视.本文主要介绍了目前主流的几种纳米压印技术,并简要概述了纳米压印技术的研究现状和应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	廖进昆	电子科技大学光电信息学院	48	173	7.0	10.0
2	唐雄贵	电子科技大学光电信息学院	22	90	5.0	9.0
3	邢飞	电子科技大学光电信息学院	1	12	1.0	1.0
4	杨晓军	电子科技大学光电信息学院	2	15	2.0	2.0
5	段毅	电子科技大学光电信息学院	1	12	1.0	1.0