减少功率器件粘片气泡的工艺技术研究

• 作者: 姚剑锋 张顺
• 来源期刊: 机电工程技术
• 学科: 工学
• 关键词: 功率器件 粘片 气泡 可靠性
• 年，卷（期）: 2013,（8）
• 页码范围: 126-128,171
• 页数: 4页
• 分类号: TN705
• 字数: 1775字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9492.2013.08.032

摘要

针对影响功率器件可靠性的各种因素，重点阐述了粘片气泡对可靠性的影响，分析了粘片气泡的形成机理，提出了减少粘片气泡的新工艺技术，测试表明，新工艺技术的应用明显减少了粘片气泡，效果良好。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚剑锋		7	0	0.0	0.0
2	张顺		3	5	1.0	2.0