微压印中抗蚀剂三维微流场可视化实验研究

• 作者: 何威 杜军 耿麒 魏正英
• 来源期刊: 浙江大学学报（工学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 微纳米压印 抗蚀剂 填充行为 数字离焦三维微流场测速技术
• 年，卷（期）: 2013,（10）
• 所属期刊栏目: 电气与机械工程
• 页码范围: 1871-1876
• 页数: 6页
• 分类号: TB22
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1008-973X.2013.10.025

摘要

为了研究微纳米压印中抗蚀剂的填充行为,采用三维数字离焦微流场测速技术对抗蚀剂内分散的荧光示踪粒子进行粒子离焦图像采集.针对粒子离焦图像的特殊性,提出基于两帧离焦图像的三维粒子跟踪测速(3D-PTV)算法.实现了对粒子三维运动轨迹的追踪,构建示踪粒子三维速度场.基于计算流体动力学(CFD)方法建立微压印抗蚀剂填充行为数值计算模型,将可视化实验结果与数值计算结果进行对比,两者吻合较好,证明三维数字离焦微流场测速技术在构建抗蚀剂填充过程微流场中的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	魏正英		117	990	18.0	27.0
2	杜军		26	49	4.0	7.0
3	何威		4	0	0.0	0.0
4	耿麒		5	47	3.0	5.0