钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
首页
论文降重
免费查重
学术期刊
学术导航
任务中心
论文润色
登录
文献导航
学科分类
>
综合
工业技术
科教文艺
医药卫生
基础科学
经济财经
社会科学
农业科学
哲学政法
社会科学II
哲学与人文科学
社会科学I
经济与管理科学
工程科技I
工程科技II
医药卫生科技
信息科技
农业科技
数据库索引
>
中国科学引文数据库
工程索引(美)
日本科学技术振兴机构数据库(日)
文摘杂志(俄)
科学文摘(英)
化学文摘(美)
中国科技论文统计与引文分析数据库
中文社会科学引文索引
科学引文索引(美)
中文核心期刊
cscd
ei
jst
aj
sa
ca
cstpcd
cssci
sci
cpku
默认
篇关摘
篇名
关键词
摘要
全文
作者
作者单位
基金
分类号
搜索文章
搜索思路
钛学术文献服务平台
\
学术期刊
\
基础科学期刊
\
物理学期刊
\
物理学报期刊
\
假塑性流体纳米压印中影响填充度的因素*
假塑性流体纳米压印中影响填充度的因素*
作者:
刘超然
夏委委
李冬雪
李天昊
段智勇
郑国恒
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
纳米压印
假塑性流体
填充度
摘要:
作为新一代的半导体加工工艺,直接金属纳米压印以其步骤简单、成本低等显著优点得到迅速的发展。然而目前纳米压印中所采用的转移介质在流动状态下为牛顿流体,牛顿流体的黏度是一个常量,而假塑性流体具有黏度随着剪切速率的增大而逐渐减小的趋势,更适用于纳米压印。综合假塑性流体的剪切稀化特性以及直接金属图形转移的优点,将不同大小的金属纳米粒子分散在基液中制成假塑性金属纳米流体并将其作为转移介质用于纳米压印中。基于假塑性流体的Carreau流变模型利用COMSOL软件仿真分析金属纳米粒子假塑性流体参数集对图形压印转移的影响,完成假塑性流体与牛顿流体分别作为转移介质实现图形转移的对比分析。同时还得到了压印过程中影响填充度的各个因素,如流体黏度、施加压强、掩模板移动速度等。研究工作为金属纳米粒子假塑性流体制备以及纳米压印流程的设计提供了理论基础。
暂无资源
收藏
引用
分享
推荐文章
微压印中抗蚀剂填充行为研究
微压印
抗蚀剂填充
可视化研究
数值模拟
高保真度五步加载纳米压印光刻的研究
压印光刻
加载
抗蚀剂
高保真度
错位六弯叶桨搅拌假塑性流体流场宏观不稳定性数值模拟
错位六弯叶搅拌器
假塑性流体
宏观不稳定性
分离涡模型
刚性模具纳米热压印直接成型技术研究与应用
纳米压印
刚性模具
成型
内容分析
文献信息
引文网络
相关学者/机构
相关基金
期刊文献
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
篇名
假塑性流体纳米压印中影响填充度的因素*
来源期刊
物理学报
学科
关键词
纳米压印
假塑性流体
填充度
年,卷(期)
2013,(18)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
459-466
页数
8页
分类号
字数
6287字
语种
中文
DOI
10.7498/aps.62.188105
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
段智勇
郑州大学物理工程学院
37
286
10.0
15.0
2
郑国恒
郑州大学物理工程学院
33
156
7.0
9.0
3
李冬雪
郑州大学物理工程学院
8
28
4.0
5.0
4
刘超然
郑州大学物理工程学院
4
21
3.0
4.0
5
李天昊
郑州大学物理工程学院
4
21
3.0
4.0
6
夏委委
郑州大学物理工程学院
4
21
3.0
4.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
(0)
共引文献
(0)
参考文献
(0)
节点文献
引证文献
(8)
同被引文献
(5)
二级引证文献
(2)
2013(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
2014(2)
引证文献(2)
二级引证文献(0)
2015(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2016(2)
引证文献(2)
二级引证文献(0)
2017(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2018(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2019(1)
引证文献(0)
二级引证文献(1)
2020(2)
引证文献(1)
二级引证文献(1)
研究主题发展历程
节点文献
纳米压印
假塑性流体
填充度
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
物理学报
主办单位:
中国物理学会
中国科学院物理研究所
出版周期:
半月刊
ISSN:
1000-3290
CN:
11-1958/O4
开本:
大16开
出版地:
北京603信箱
邮发代号:
2-425
创刊时间:
1933
语种:
chi
出版文献量(篇)
23474
总下载数(次)
35
总被引数(次)
174683
期刊文献
相关文献
1.
微压印中抗蚀剂填充行为研究
2.
高保真度五步加载纳米压印光刻的研究
3.
错位六弯叶桨搅拌假塑性流体流场宏观不稳定性数值模拟
4.
刚性模具纳米热压印直接成型技术研究与应用
5.
错位六弯叶搅拌槽内假塑性流体的混合特性
6.
微纳米压印工艺对PMMA流动填充及保真度的影响
7.
基于流固耦合的错位桨搅拌假塑性流体动力学特性
8.
假塑性流体液滴撞击壁面上的铺展的格子Boltzmann模拟
9.
浅谈生产中影响彩涂板色差的因素
10.
面向纳米压印的大行程二维精密定位平台的设计
11.
吸入制剂中影响肺部沉积性能的因素
12.
TiO_2光阳极有序微结构的纳米压印工艺
13.
纳米流体热导率的测量
14.
纳米压印光刻中的多步定位研究
15.
氧化石墨烯纳米流体过冷度及非均匀成核条件研究
推荐文献
钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
首页
论文降重
免费查重
学术期刊
学术导航
任务中心
论文润色
登录
根据相关规定,获取原文需跳转至原文服务方进行注册认证身份信息
完成下面三个步骤操作后即可获取文献,阅读后请
点击下方页面【继续获取】按钮
钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
原文合作方
继续获取
获取文献流程
1.访问原文合作方请等待几秒系统会自动跳转至登录页,首次访问请先注册账号,填写基本信息后,点击【注册】
2.注册后进行实名认证,实名认证成功后点击【返回】
3.检查邮箱地址是否正确,若错误或未填写请填写正确邮箱地址,点击【确认支付】完成获取,文献将在1小时内发送至您的邮箱
*若已注册过原文合作方账号的用户,可跳过上述操作,直接登录后获取原文即可
点击
【获取原文】
按钮,跳转至合作网站。
首次获取需要在合作网站
进行注册。
注册并实名认证,认证后点击
【返回】按钮。
确认邮箱信息,点击
【确认支付】
, 订单将在一小时内发送至您的邮箱。
*
若已经注册过合作网站账号,请忽略第二、三步,直接登录即可。
期刊分类
期刊(年)
期刊(期)
期刊推荐
力学
化学
地球物理学
地质学
基础科学综合
大学学报
天文学
天文学、地球科学
数学
气象学
海洋学
物理学
生物学
生物科学
自然地理学和测绘学
自然科学总论
自然科学理论与方法
资源科学
非线性科学与系统科学
物理学报2022
物理学报2021
物理学报2020
物理学报2019
物理学报2018
物理学报2017
物理学报2016
物理学报2015
物理学报2014
物理学报2013
物理学报2012
物理学报2011
物理学报2010
物理学报2009
物理学报2008
物理学报2007
物理学报2006
物理学报2005
物理学报2004
物理学报2003
物理学报2002
物理学报2001
物理学报2000
物理学报1999
物理学报2013年第9期
物理学报2013年第8期
物理学报2013年第7期
物理学报2013年第6期
物理学报2013年第5期
物理学报2013年第4期
物理学报2013年第3期
物理学报2013年第24期
物理学报2013年第23期
物理学报2013年第22期
物理学报2013年第21期
物理学报2013年第20期
物理学报2013年第2期
物理学报2013年第19期
物理学报2013年第18期
物理学报2013年第17期
物理学报2013年第16期
物理学报2013年第15期
物理学报2013年第14期
物理学报2013年第13期
物理学报2013年第12期
物理学报2013年第11期
物理学报2013年第10期
物理学报2013年第1期
关于我们
用户协议
隐私政策
知识产权保护
期刊导航
免费查重
论文知识
钛学术官网
按字母查找期刊:
A
B
C
D
E
F
G
H
I
J
K
L
M
N
O
P
Q
R
S
T
U
V
W
X
Y
Z
其他
联系合作 广告推广: shenyukuan@paperpass.com
京ICP备2021016839号
营业执照
版物经营许可证:新出发 京零 字第 朝220126号