晶体硅太阳电池的制造工艺

• 作者: 帅争峰 雷咸道 陈传科 王鹤 杨宏
• 来源期刊: 变频技术应用
• 学科: 工学
• 关键词: 晶体硅太阳电池 制造工艺流程 制造过程 自动化控制 减反射膜 丝网印刷 测试分选 半导体
• 年，卷（期）: bpjsyy,（2）
• 页码范围: 96-96,113-115
• 页数: 4页
• 分类号: TM91

摘要

晶体硅太阳电池的制造过程是一个半导体的制造过程，融合了物理、化工、机电、自动化控制等多学科的知f识。晶体硅太阳电池的常规制造工艺流程如图1所示，从硅片到电池片，主要包括硅片来料检测、清洗制绒、扩散制结、刻蚀、去磷硅玻璃、镀减反射膜、丝网印刷、烧结和测试分选工序，最终制造成为合格的晶体硅太阳电池片。