硬质合金基体金刚石涂层沉积工艺研究

• 作者: 左敦稳 徐锋 户海峰 赵云
• 来源期刊: 机械制造与自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石薄膜 沉积工艺 热丝化学气相沉积法 硬质合金
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 机械制造与研究
• 页码范围: 44-47
• 页数: 4页
• 分类号: TH16
• 字数: 3455字
• 语种: 中文

摘要

CVD金刚石涂层具有高硬度、高耐磨性、低摩擦系数和高化学稳定性等优点,是作为刀具超硬涂层的理想材料.文中以CH4和H2为气源,采用热丝化学气相沉积法,在YG6硬质合金基体上沉积了金刚石薄膜.研究了CH4浓度、沉积温度和反应室气压对金刚石薄膜品质的影响.利用扫描电镜、拉曼光谱和压痕实验对其结构和附着性能进行表征,分析了各参数对金刚石薄膜品质的影响规律,发现降低CH4浓度、提高沉积温度、适当提高反应气压,可改善薄膜晶体品质并提高涂层与基底的附着能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	左敦稳	南京航空航天大学机电学院	510	3780	26.0	32.0
2	徐锋	南京航空航天大学机电学院	85	541	13.0	18.0
3	赵云	南京航空航天大学机电学院	3	9	2.0	3.0
4	户海峰	南京航空航天大学机电学院	4	14	2.0	3.0