193 nm P偏振光大角度减反射膜的实现

• 作者: 常艳贺 李春 金春水 靳京城
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 减反射膜 P偏振态 193 nm激光 大入射角
• 年，卷（期）: 2013,（9）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 152-156
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201340.0907001

摘要

对用于193 nm减反射膜的基底材料和薄膜材料的光学性能进行了解析,同时对沉积技术和主要沉积工艺参数进行了分析与优化选择,并在此基础上进行了193 nm大角度入射减反射膜的设计、制备及检测,实现了入射角为68°～72°范围内单面透射率大于96％,剩余反射率小于1％.同时计算了线宽压窄模块棱镜在镀膜前后的单程能量损耗,肯定了实现大角度减反射膜的必要性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李春	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	30	317	10.0	17.0
2	金春水	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	56	202	9.0	11.0
3	靳京城	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	8	2	1.0	1.0
4	常艳贺	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	8	17	2.0	4.0