用于光气动探测的微流量传感器

• 作者: 何秀丽 李建平 贾建 赵永翠 赵玲 高晓光
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 非分光红外 光气动探测 微流量传感器
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 1-3,6
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 1923字
• 语种: 中文

摘要

针对气体红外吸收的气动探测应用,设计了基于MEMS技术的Sandwich结构硅基微流量传感器.在1 mm2面积内制备了阻值约1.6 kΩ的蛇形Pt薄膜作为加热及测温电阻,其电阻-温度系数(TCR)约2.2×10-3/℃.Pt薄膜采用4 μm厚氮化硅悬梁作支撑,在125℃工作温度下功耗约44 mW.研究了Pt薄膜电阻对的间距以及工作温度对微流量传感器性能的影响,并将其用于CO2气体检测.在0～1 mL/min的测试范围内,该微流量传感器输出信号与气体流量成线性关系,理论检测下限约8.5 μL/min,可用于气体红外吸收的气动探测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李建平	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	251	4235	35.0	54.0
2	何秀丽	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	83	492	10.0	19.0
3	高晓光	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	52	248	9.0	13.0
4	贾建	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	43	151	7.0	9.0
5	赵玲	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	25	216	7.0	13.0
6	赵永翠	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	1	3	1.0	1.0