计算全息图补偿检测离轴非球面中的投影畸变校正技术

• 作者: 张学军 曾雪锋 李锐钢 薛栋林 邓伟杰 郑立功 闫锋
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 全息 非球面检测 投影畸变校正 仿射变换 离轴非球面 计算全息图
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 所属期刊栏目: 全息与信息处理
• 页码范围: 229-233
• 页数: 5页
• 分类号: O439
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201340.1109003

摘要

为了校正利用计算全息图(CGH)补偿检测离轴非球面引入的二维投影畸变,提出了基于检测光路仿射变换的投影畸变校正方法.通过追迹检测光路求解畸变映射函数,借助镜面特征点实现畸变校正结果与镜面的高精度对准,利用校验特征点实现校正误差检验.将该技术实际应用于某项目800 mm×600 mm离轴非球面主镜检测和加工,检测结果与工件面形位置误差由校正前80 mm降低至1 mm以下.根据畸变校正后的数据,对该镜采用离子束抛光,最终面形精度[用均方根(RMS)误差表示]达到0.0162λ(λ=0.6328 μm).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张学军	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	124	1634	25.0	33.0
2	邓伟杰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	13	205	10.0	13.0
3	郑立功	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	39	386	12.0	19.0
4	李锐钢	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	13	104	6.0	10.0
5	薛栋林	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	29	237	7.0	15.0
6	曾雪锋	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	5	6	2.0	2.0
7	闫锋	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	11	39	4.0	6.0