St(o)ber法制备二氧化硅薄膜反应动力学

• 作者: 刘淼 唐永建 商孟莹 曹林洪 罗炫 蒋晓东
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶 反应动力学 单分散二氧化硅 转化率 反应时间
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 898-902
• 页数: 5页
• 分类号: O484.5|TB34
• 字数: 3512字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20132504.0898

摘要

通过研究正硅酸乙酯(TEOS)水解的反应动力学,推导出St(o)ber法制备二氧化硅溶胶体系中反应时间与TEOS转化率关系的动力学公式.分析确定了合适的转化率,进而用于计算二氧化硅溶胶的理论最佳反应时间.同时,以正硅酸乙酯为硅源,采用溶胶凝胶法在氨水催化作用下制备了不同配比的二氧化硅溶胶,考察了氨和水的浓度对反应时间的影响,结果表明,两者浓度增大可以有效减少反应时间.通过成膜性检测确定制备过程中的最佳反应时间,并与理论计算得到的最佳反应时间进行比较,结果表明,两者一致,误差控制在5％以内,说明该动力学公式具有很好的适用性.