气相沉积法制备聚酰亚胺薄膜的热环化研究

• 作者: 叶丽娜 张占文 曹洪 韦建军 黄勇
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 聚酰亚胺 薄膜 热环化 气相沉积
• 年，卷（期）: 2013,（8）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 1995-1999
• 页数: 5页
• 分类号: TL639.11
• 字数: 2327字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20132508.1995

摘要

采用两种单体同时蒸发沉积聚合方法制备得到聚酰亚胺(PI)薄膜.对不同温度下和不同恒温时间的聚酰胺酸(PAA)薄膜进行了红外分析,将300℃恒温3h以上的薄膜脱膜,用白光干涉仪测量了PI薄膜热环化前后表面质量.采用热重分析仪在不同升温速率条件下对薄膜进行了分析.结果表明,在热环化过程中,随着温度增加亚胺化程度逐渐增加.在300℃时随着恒温时间增加亚胺化程度逐渐增加,恒温3h以上薄膜亚胺化较为完全,可以获得完整且不易破损的自支撑薄膜.在热环化过程中,升温速率较低时薄膜的亚胺化程度在低温区转化率提高,过量单体蒸发更完全,故一般选择较小的升温速率,约10 C/min甚至更低.采用上述热环化工艺得到了亚胺化程度较高且不易破损的PI薄膜,其表面均方根粗糙度为9.8 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张占文	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	80	531	12.0	16.0
2	黄勇	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	38	270	9.0	15.0
3	韦建军	四川大学原子与分子物理研究所	57	239	8.0	12.0
4	曹洪	四川大学原子与分子物理研究所	24	200	7.0	14.0
6	叶丽娜	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	2	11	2.0	2.0