气相沉积法制备聚酰亚胺薄膜的初步研究

• 作者: 姚红 张占文 李赛 汪国秀 黄勇
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 聚酰亚胺 聚酰胺酸 气相沉积聚合
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 53-57
• 分类号: TG174.444
• 字数: 4249字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2011.06.016

摘要

采用一种新型的成膜技术——气相沉积聚合(V DP)法,利用热蒸发VDP沉积装置,以均苯四甲酸二酐和4,4-二氨基二苯醚为单体原料,通过控制加热温度、沉积速率和沉积时间,在玻璃衬底上沉积并合成聚酰胺酸(PAA)薄膜,再进行热亚胺化,就得到了成膜性能较好的PI薄膜.采用FTIR,TG,UV,AFM和接触角测试等分析手段对样品的性能进行了分析和探讨.结果表明:VDP法制备的PI薄膜具有高热稳定性、易透光性、低表面粗糙度和低表面能等优点,说明用该方法制备性能优异的PI薄膜是可行的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李赛		31	131	6.0	10.0
2	张占文	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	80	531	12.0	16.0
3	黄勇	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	38	270	9.0	15.0
4	姚红	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	7	11	2.0	3.0
8	汪国秀		3	6	1.0	2.0