新能源硅产业碳化硅切割废料回收利用研究进展

• 作者: 侯思懿 汪长安 王涛 铁生年
• 来源期刊: 科技导报
• 学科: 工学
• 关键词: 新能源硅产业 碳化硅切割废液 回收利用
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 综述文章
• 页码范围: 74-79
• 页数: 6页
• 分类号: TQ174
• 字数: 7893字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3981/j.issn.1000-7857.2013.04.011

摘要

随着硅片需求量迅速增加,其在切割过程中使用切割液形成了大量的切割废液.对新能源硅产业生产切割技术概况、碳化硅切割废料在线回收工艺和离线回收工艺进行论述.重点介绍切割废液离线回收工艺中的物理法和化学法及研究展望.结果表明,国内外对切割废液的回收利用从单一回收碳化硅到综合回收碳化硅、聚乙二醇和硅已成为发展的趋势.切割废液的离线回收工艺中物理法具有能耗小、工艺简单、设备造价低和易于工业化等优点.其中选择有效的捕收剂利用泡沫浮选技术分离方法,操作简单,分离效率高,具有潜在应用价值,是当前研究重点.化学法通过原料的转化,在制得新产品同时回收碳化硅物料,物料回收纯度高,具有一定的潜力,需要作进一步研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪长安	青海大学非金属材料研究所	102	944	16.0	24.0
3	铁生年	青海大学非金属材料研究所	110	679	13.0	21.0
6	王涛	青海大学非金属材料研究所	49	183	8.0	11.0
7	侯思懿	青海大学非金属材料研究所	10	40	3.0	6.0