基于PC平台的高精度激光微加工系统的研制

• 作者: 余锦 刘洋 张雪 樊仲维 王治昊 聂树真 葛文琦 貊泽强 郭广妍
• 来源期刊: 科学技术与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 激光微细加工 控制系统 光束整形 光机同步
• 年，卷（期）: 2013,（21）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 6229-6234
• 页数: 6页
• 分类号: TG665|TP272
• 字数: 2695字
• 语种: 中文

摘要

介绍了自主设计高精度皮秒激光微加工系统及其控制单元.首先在加工系统整体方案的设计上充分考虑了激光器的选择、光束质量、控制方式等对加工精度的影响.将高斯光束转化为平顶光束引入激光微加工.其次使用了一种位置比较脉冲的光机同步技术,使得激光脉冲在空间上均匀分布,改善了加工效果.最后在系统中加入了路径规划、实时监测及同步显示等功能,实现系统加工线宽达到3.64μm,绝对定位精度小于1μm的激光微加工.