高精度激光加工设备隔振系统的设计

• 作者: 余锦 刘洋 张雪 王昊成 王治昊 聂树贞 葛文琦 貊泽强 郭广妍
• 来源期刊: 科学技术与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 激光微加工 结构设计 振动分析 空气弹簧
• 年，卷（期）: 2013,（21）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 6082-6087
• 页数: 6页
• 分类号: TH113.1
• 字数: 2872字
• 语种: 中文

摘要

随着激光加工精度要求的不断提高,加工设备系统的稳定性问题受到越来越多的重视.利用有限元方法对高精度激光加工设备的固有频率和谐响应进行了分析,并采用空气弹簧对整个系统进行减振处理.研究结果表明该激光加工设备具有较高的固有频率,当外部激励频率明显小于一阶固有频率时系统较稳定,并且不同振动频率下空气弹簧的减振效果均较高,满足设备的减振要求.