基于 AGC 闭环控制的谐振式压力传感器驱动仿真及接口电路设计

• 作者: 孙道恒 张驰 杜晓辉
• 来源期刊: 电子制作
• 关键词: MEMS 谐振器 闭环拓扑 行为级仿真 驱动电路
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 页码范围: 27-29
• 字数: 2187字
• 语种: 中文

摘要

谐振式压力传感器利用正反馈原理,构成包括机械谐振子在内的机电一体的高品质闭环谐振系统,闭环拓扑结构对保持机械谐振器振荡的稳定性和可靠性起着重要作用.本文针对一种典型结构的静电驱动电容检测谐振式压力传感器,在分析工作原理的基础上,构建了其行为级闭环自激仿真模型,在MATLAB 中对自激回路的起振情况进行了仿真;最后设计了基于 AGC 的闭环控制电路.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张驰	厦门大学物理与机电工程学院机电工程系	4	18	2.0	4.0
2	孙道恒	厦门大学物理与机电工程学院机电工程系	81	618	14.0	21.0
3	杜晓辉	厦门大学物理与机电工程学院机电工程系	8	34	3.0	5.0