悬臂式压电双晶片振子夹持长度变化对其动态特性的影响

• 作者: 张海滨 曾平 李新辉 温建明 程光明
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 压电双晶片振子 悬臂式双晶片振子 夹持长度 动态特性
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1296-1303
• 页数: 8页
• 分类号: TN384
• 字数: 3554字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20142205.1296

摘要

以惯性压电驱动器的关键部件——悬臂式压电双晶片振子为研究对象,探讨了悬臂式压电双晶片振子的夹持长度变化对其动态特性的影响规律.首先,建立了悬臂式压电双晶片振子静态参数方程和动力学模型.然后,应用matlab软件仿真分析了夹持长度变化对悬臂式压电双晶片振子的端部位移幅值和惯性加速度幅值的影响.最后,分别测试了悬臂式压电双晶片振子在不同夹持长度下的端部位移幅值以及惯性加速度幅值.结果显示:驱动电压为10 V,频率为11 Hz,悬臂式压电双晶片振子的夹持长度在9～20 mm内变化时,其端部位移幅值最大为66.2 μm,产生的惯性加速度幅值最大为10.2 ms-2.仿真和试验结果表明:激励电场相同时,随着悬臂式压电双晶片振子的夹持长度增大,其端部位移幅值会变小,而其产生的惯性加速度会变大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程光明	浙江师范大学精密机械研究所	52	317	8.0	14.0
3	曾平	浙江师范大学精密机械研究所	20	145	7.0	11.0
4	李新辉	浙江师范大学精密机械研究所	9	24	2.0	4.0
5	温建明	浙江师范大学精密机械研究所	25	139	7.0	9.0
8	张海滨	浙江师范大学精密机械研究所	2	15	2.0	2.0