用于MEMS仿生矢量水听器流激噪声抑制的“三明治”式封装结构设计与性能测试

• 作者: 刘林仙 张国军 张文栋 张斌珍 杨士莪 王盼盼 郝一龙
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 矢量水听器 流激噪声
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 79-84
• 分类号: TB565
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2014.02.001

摘要

MEMS仿生矢量水听器具有体积小、成本低、安装方便、有矢量性等优点,将MEMS仿生矢量水听器应用于水下环境必须解决透声、绝缘、流激噪声抑制等问题.为此,在前期单层聚氨酯封装结构的基础上,提出聚氨酯-水-聚氨酯“三明治”式封装结构,外层聚氨酯直径36 mm,内层聚氨酯直径32 mm.完成了“三明治”式封装结构设计计算与试制测试;并通过典型使用环境实验验证该封装结构的流激噪声抑制能力.实验结果表明在20～1 000 Hz内该封装结构在几乎不损失灵敏度和矢量性的前提下,比前期的封装结构在抑制流激噪声能力方面提高20 dB以上.