用于 MEMS 矢量水听器流激噪声抑制的“三明治”式封装结构设计与性能测试

• 作者: 刘林仙 张国军 张文栋 杨士莪 王盼盼
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 矢量水听器 流噪声 封装结构 指向性
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 测试技术与理论研究
• 页码范围: 14-19
• 页数: 6页
• 分类号: TP565.1
• 字数: 1796字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2015.01.003

摘要

MEMS 仿生矢量水听器应用于水下环境，必须解决透声，绝缘，流激噪声抑制等问题。为此，提出“三明治”式封装结构。完成了“三明治”式封装结构设计计算与试制测试；并通过典型使用环境试验验证该封装结构的流激噪声抑制能力。试验结果表明：该封装结构在几乎不损失灵敏度和矢量性的前提下，比前期的封装结构在抑制流激噪声能力方面提高20 dB 以上。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨士莪	西北工业大学航海学院	7	44	4.0	6.0
2	张文栋	中北大学电子测试技术国防科技重点实验室	167	1172	16.0	26.0
3	王盼盼	中北大学电子测试技术国防科技重点实验室	6	37	3.0	6.0
4	刘林仙	中北大学电子测试技术国防科技重点实验室	8	21	2.0	3.0
5	张国军	西北工业大学航海学院	7	32	3.0	5.0