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多晶硅太阳电池片生产中的管式PECVD研究
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文献信息
| 篇名 | 多晶硅太阳电池片生产中的管式PECVD研究 | ||
| 来源期刊 | 陕西国防工业职业技术学院学报 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | PECVD 多晶硅 SiNx减反膜 H钝化 | ||
| 年，卷（期） | 2014,（2） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 21-24,27 | |
| 页数 | 5页 | 分类号 | TN305 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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PECVD
多晶硅
SiNx减反膜
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