自动光学检测的彩膜分区检查与判定

• 作者: 余道平 刘超强 张祥 张铁轶 王野
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 自动光学检查 彩膜 灰阶 缺陷
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 器件物理及器件制备技术
• 页码范围: 34-39
• 页数: 6页
• 分类号: TH865|TH691.9
• 字数: 2105字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/YJYXS20142901.0034

摘要

为了提高自动光学检测系统检测彩膜质量的准确率,降低误判,通过分析由红绿蓝三色组成矩阵结构和Line CCD获取的彩膜图像特征,在五点周期比较检测的基础上设计一种彩膜缺陷的检测方法.该方法通过对彩膜的机械与光学对位后,通过五点比对进行缺陷的检测.Line CCD从红绿蓝3个不同的区域获取不同的灰阶值,分别设置3个区域的灰阶值范围和该区域的判定阈值;最后根据缺陷与正常点灰阶差值的不同对缺陷进行分类,赋予相应的缺陷代码.基于以上3个步骤,实现对整张彩膜的缺陷检测.实验结果表明,采用五点比较、分区检测和缺陷分类相结合的方法,缺陷检出的准确率可以提高至99.6％以上.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王野		11	23	3.0	4.0
2	余道平		2	14	2.0	2.0
3	张铁轶		1	8	1.0	1.0
4	刘超强		1	8	1.0	1.0
5	张祥		1	8	1.0	1.0