薄膜材料热物性测量的FDTR信号敏感度比较

• 作者: 唐大伟 徐先锋
• 来源期刊: 中国科学院大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 连续型、脉冲型FDTR 层状结构 热导率 界面热导 敏感度分析
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 数学与物理学
• 页码范围: 32-37
• 分类号: TB383.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.7523/j.issn.2095-6134.2014.01.006

摘要

基于光热反射技术的原理,采用柱坐标下的傅里叶导热模型,以矩阵传递的形式,推导并计算得出连续型、脉冲型频域光热反射法(FDTR)的理论相位表达式,比较了二者测量2种常见结构的信号敏感度,得到具有不同基底热导率、薄膜热导率、界面热导的薄膜材料的FDTR实验测量方法选择的理论依据.结果表明,结合最佳拟合频率段的选取,采用合适的FDTR测量方法,可得到更高精度的材料热物性参数测量结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐大伟	中国科学院工程热物理研究所	74	494	12.0	19.0
2	徐先锋	中国科学院工程热物理研究所	1	0	0.0	0.0