基于转写技术的微针阵列制备与强度特性测试

• 作者: 廖哲勋 朱军 李以贵 谢长生
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微针模具 微针阵列 PDMS二次转写 聚合物 强度测试
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 194-201
• 分类号: TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13494/j.npe.20130101

摘要

为达到低成本、批量化制备微针阵列的目的,提出了一种分别制备微针针尖模具和微针立柱模具的微针模具制备方法.制备微针针尖硅模具是采用湿法刻蚀方法,SU-8微针的立柱部分则采用套刻工艺制备.以此模具为母版,采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)二次转写技术获得PDMS二次母版.以PDMS母版为模具,分别用浇铸法制备了3种不同聚合物材料(左旋聚乳酸(PLLA),聚苯乙烯(PS),透明质酸(HA))的微针阵列;还以PDMS母版为模具,用电铸法制备了金属Ni微针阵列.该微针阵列的密度约为300根针/cm2.对制备的4种微针进行力学特性测试,实验结果表明,加工出的微针有足够的力学强度,可用于无痛注射.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱军	上海交通大学微纳科学技术研究院	52	663	14.0	25.0
2	谢长生		7	13	3.0	3.0
3	李以贵	上海应用技术学院理学院	24	34	4.0	4.0
4	廖哲勋	上海交通大学微纳科学技术研究院	1	3	1.0	1.0