X光光刻工艺微针阵列的制备、测试和仿真

• 作者: 吕曈 吴文渊 李以贵 王欢 蔡金东
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 透皮给药 移动X光光刻 固定X光光刻 微针阵列
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1156-1164
• 页数: 9页
• 分类号: TN205|TN305.7
• 字数: 4560字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20182605.1156

摘要

为了提高透皮给药的效率,降低传统注射对人体的疼痛感,需要制备微针阵列结构.本文介绍了一种新的微针阵列结构的制造技术.利用日本立命馆大学的同步辐射光源AURORA进行两次X光移动光刻和一次固定X光光刻技术,在PMMA光刻胶上得到微针阵列.通过采用不同的掩膜版图形以及对不同位置的空心孔进行X光光刻,获得了不同规格的空心微针阵列,针对固定X光光刻时对准的问题,自行研制了X光光刻对准装置,实验结果证明,该装置能实现空心微针阵列的制备.并且进行了微针刺穿测试,结果证明微针有足够的强度.为了达到低成本批量复制微针阵列的目的,还进行了微针模具的倒模和复制实验,成功得到金属镍实心微针阵列.最后,针对光刻过程中微针阵列结构的侧面形状发生畸变的情况,对移动X光光刻建立了仿真预测,将仿真预测结果与实验结果进行了比较,结果表明显影深度的误差为5％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王欢	上海应用技术大学理学院	18	29	3.0	4.0
2	吴文渊	上海应用技术大学理学院	8	8	2.0	2.0
3	李以贵	上海应用技术大学理学院	24	34	4.0	4.0
4	蔡金东	上海应用技术大学机械工程学院	8	12	2.0	3.0
5	吕曈	上海应用技术大学机械工程学院	4	6	2.0	2.0